供应石英坩埚（图7）

用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点

纯度的化学分析

型号

Al

Fe

Ca

Cu

K

Na

Li

B

OH

DHS

20

1

1.5

0.1

3

3

3

0.3

30

DHS-A

15

0.3

0.6

0.05

0.7

1.0

0.7

<0.1

30

DHS-B

8

0.2

0.6

0.02

0.3

0.9

0.2

<0.05

30

规格尺寸：

坩埚尺寸

外径D

高度H

厚度

R*

r*

t₁

t₂

t₃

8"

203±

0

3

153±3

5.5±1.5

3

8.5

305

30

10"

254±2

178±3

6.0±1.5

3.5

9

305

70

12"

305±2

228±3

6.5±1.5

4

9.5

305

80

14"

355±2

254±3

7.5±1.5

5

10.5

400

90

16"

404±2

305±3

8.5±1.5

6

11.5

400

90

18"

457±2

355±3

8.5±1.5

6

11.5

500

120

20"

508±4

381±3

10±3

6

11.0

500

120

22"

558±4.5

381±3

10±3

7

11.0

558

89

24"

610±4.5

381±3

11±2

7±1

11.0

610

89