一、技术参
数行程范围：X轴------1200 mm Y轴------2200 mm Z轴------1000 mm
结构型式：活动桥式
传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承长度
机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65%
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机重量：5696kg
二、机械特点
1．整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。
2．三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。
3．三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。
4．长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。
5．控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。